B. Linearization of the Static Nonl

B. Linearization of the Static Nonlinearity
The nonlinear relationship between input actuation voltage
and actuator displacement resembles a high-order polynomial
function. To linearize this, a lookup table was implemented in
dSPACE and placed in series with the plant, as shown in Fig. 8.
The lookup table stores the displacement data and actuation
voltages of the MEMS nanopositioner. These stored values
were obtained from the data plotted in Fig. 7(a). For every
pre-defined input displacement u (in μm), the lookup table
generates an output voltage Va by interpolating/extrapolating
among the stored values. The generated signal Va was fed to
a voltage amplifier which has a gain of 20. The output voltage
of the amplifier is in turn used to drive the nanopositioner.
The sensors exhibit minor nonlinearities, which may be
attributed to device imperfections due to tolerances in the
MEMS fabrication process. These nonlinearities were linearized
using a second lookup table (see Fig. 8) which stores
the data plotted in Fig. 7(c). Similar to the first lookup table,
for every sensor voltage S (in Volt) fed to the lookup table,
the lookup table generates an output displacement d (in μm).
By cascading the lookup tables with the plant, the input-output
relationship from u to d was linearized.

Kết quả (Việt) 1:

B. linearization của Nonlinearity tĩnhPhi tuyến mối quan hệ giữa điện áp đầu vào càngvà thiết bị truyền động trọng lượng rẽ nước tương tự như một đa thức cao-đặt hàngchức năng. Để linearize này, một bảng tra cứu được thực hiện trongdSPACE và được đặt trong loạt với các nhà máy, như minh hoạ trong hình 8.Bảng tra cứu cất giữ dữ liệu trọng lượng rẽ nước và càngđiện áp của MEMS nanopositioner. Các giá trị được lưu trữđã thu được từ các dữ liệu âm mưu trong hình 7(a). Cho mỗitrọng lượng rẽ nước đầu vào được xác định trước u (trong μm), bảng tra cứutạo ra một điện áp đầu ra Va bởi interpolating/extrapolatingtrong số các giá trị được lưu trữ. Các tín hiệu được tạo ra Va đã được cho ăn đểmột khuếch đại điện áp, đã đạt được một 20. Điện áp đầu racủa khuếch đại lần lượt được sử dụng để lái xe nanopositioner.Các cảm biến triển lãm nhỏ nonlinearities, mà có thểdo thiết bị hoàn hảo do dung sai trong cácQuá trình chế tạo MEMS. Các nonlinearities được linearizedbằng cách sử dụng một bảng tra cứu thứ hai (xem hình 8) mà mua sắmdữ liệu âm mưu trong hình 7(c). Tương tự như bảng tra cứu đầu tiên,cho mỗi cảm biến điện áp S (ở Volt) cung cấp cho bảng tra cứu,bảng tra cứu tạo ra một sản lượng trọng lượng rẽ nước d (ở μm).Bởi cascading bảng tra cứu với thực vật, đầu vào-đầu ramối quan hệ từ bạn để d linearized.

Kết quả (Việt) 2:

B. tuyến tính của các phi tuyến tĩnh
Các mối quan hệ phi tuyến giữa điện áp đầu vào bộ chấp hành
và cơ cấu chấp hành chuyển giống như một bậc cao đa thức
chức năng. Để linearize này, một bảng tra cứu được thực hiện trong
DSpace và được đặt trong loạt với các nhà máy, như thể hiện trong hình. 8.
Các bảng tra cứu lưu trữ dữ liệu dung tích và dẫn động
điện áp của MEMS nanopositioner. Những giá trị được lưu trữ
thu được từ các dữ liệu vẽ trong hình. 7 (a). Đối với mỗi
dịch chuyển đầu vào được xác định trước u (trong micron), các bảng tra cứu
tạo ra một điện áp đầu ra bằng cách nội suy Va / ngoại suy
các giá trị được lưu trữ. Các tín hiệu được tạo Va đã được đưa tới
một bộ khuếch đại điện áp trong đó có một lợi của 20. Các điện áp đầu ra
của bộ khuếch đại là lần lượt sử dụng để lái nanopositioner.
Các cảm biến hiện phi tuyến nhỏ, mà có thể được
quy cho sự không hoàn hảo thiết bị do dung sai trong
MEMS quá trình chế tạo. Những phi tuyến đã được tuyến tính
bằng cách sử dụng một bảng tra cứu thứ hai (xem hình. 8) trong đó lưu trữ
các dữ liệu vẽ trong hình. 7 (c). Tương tự như các bảng tra cứu đầu tiên,
cho mọi điện áp cảm biến S (trong Volt) làm thức ăn cho các bảng tra cứu,
bảng tra cứu tạo ra một sản lượng chuyển d (trong micron).
By tầng các bảng tra cứu với các nhà máy, các đầu vào-đầu ra
mối quan hệ từ u cho d đã được tuyến tính.