The sputtering yields are proportional to the energy transfer factor, and are a function of the hardness of the atoms since hard collisions increase the yield. Periodicity is also observed in sputtering thresholds [
Thổi sản lượng tỉ lệ thuận với yếu tố truyền năng lượng, và là một chức năng của độ cứng của các nguyên tử vì va chạm khó tăng sản lượng. Tính chu kỳ là cũng quan sát thấy trong tạo ngưỡng [
Lợi suất phún xạ là tỷ lệ thuận với yếu tố chuyển giao năng lượng, và là một chức năng của độ cứng của các nguyên tử từ va chạm cứng tăng năng suất. Chu kỳ là cũng quan sát thấy ở ngưỡng phún [