Typical MEMS accelerometer is composed of movable proof mass with plates that is attached through a mechanical suspension system to a reference frame. Movable plates and fixed outer plates represent capacitors
Gia tốc MEMS điển hình bao gồmdi chuyển khối lượng bằng chứng với tấm làgắn thông qua một hệ thống treo cơ khíHệ thống vào một khung tham khảo. Di chuyểntấm và cố định tấm bên ngoài đại diện chotụ điện
Điển hình MEMS gia tốc gồm khối lượng bằng chứng di chuyển bằng các tấm được gắn thông qua một hệ thống treo cơ khí hệ thống để một hệ quy chiếu. Movable và các loại biển ngoài cố định đại diện cho tụ