Chemical vapor deposition (CVD). Reaction of gases in the reaction chamber causes deposition of the reaction product as a layer that can be of nano thickness.
Lắng đọng hơi hóa học (CVD). Phản ứng của các chất khí trong buồng phản ứng, gây lắng đọng của sản phẩm phản ứng như là một lớp mà có thể được các độ dày nano.