Vì thế, cần phải phân tích các tần số cộng hưởng của cấu trúc cây cầu này trong việc thiết kế các bộ chuyển đổi cộng hưởng. Chúng tôi sử dụng các yếu tố chùm trong phần mềm ABAQUS để giải quyết đối với ba tần số cộng hưởng đầu tiên của cây cầu. Các kích thước của kết cấu cầu kẹp clamped- thể hiện trong hình 5.5 được sử dụng để mô hình một cây cầu ở một đầu dò cộng hưởng vi. Các thuộc tính vật chất của silic đa tinh thể, trong đó đầu dò cộng hưởng thường được thực hiện, được trình bày trong Bảng 5.2.
đang được dịch, vui lòng đợi..
