Độ phân giải cao TEM (HRTEM) là công cụ cuối cùng trong hình ảnh khiếm khuyết. Trong trường hợp thuận lợi trực tiếp nó cho thấy một chiếu hai chiều của các tinh thể với Khuyết tật và tất cả. Tất nhiên, điều này chỉ làm cho ý nghĩa nếu hai chiều chiếu xuống một số hướng chỉ số thấp, do đó, nguyên tử chính xác trên đầu trang của mỗi khác. Nguyên tắc cơ bản của HRTEM là dễ dàng để nắm bắt: Xem xét một lát rất mỏng của tinh thể đã bị nghiêng để một hướng thấp chỉ số là chính xác vuông góc với chùm điện tử. Tất cả máy bay lưới về song song với các chùm tia điện tử sẽ được chặt chẽ, đủ để vị trí Bragg và sẽ diffract các chùm tia chính. Các mô hình nhiễu xạ là biến đổi Fourier của tiềm năng định kỳ cho các electron trong hai chiều. Trong ống kính mục tiêu tất cả diffracted dầm và các chùm tia chính được mang lại với nhau một lần nữa; sự can thiệp của họ cung cấp một biến đổi trở lại và dẫn đến một hình ảnh mở rộng của tiềm năng định kỳ. Hình ảnh này phóng đại bởi hệ thống quang điện tử sau và cuối cùng nhìn thấy trên màn hình tại phóng của thường 106. Các thực hành của HRTEM, Tuy nhiên, là khó khăn hơn họ lý thuyết đơn giản. Một minh hoạ đầu tiên phục vụ để làm cho một số điểm:
đang được dịch, vui lòng đợi..
