Many research activities about magn

Many research activities about magnetron sputter
have been carried out by modeling. There are
three-dimensional (3-D) particle-in-cell/Monte Carlo
(PIC/MC) simulation results [8] which are
computationally costly. Thus we use a PIC/MC
two-dimensional (2-D) simulation code OOPIC [10]. In
Section 2, the simulation results are shown for the
magnetron geometry. The magnetic field distributions
with a given magnet geometry are in Section 2.1 and the
profiles of the plasma quantities are in Section 2.2. The
erosion profiles of experiment and simulation are
compared in Section 3, and the summary with a
conclusion is given in Section 4.

Kết quả (Việt) 1:

Nhiều hoạt động nghiên cứu về từ trường sputterđã được thực hiện bởi mô hình. Cóba chiều (3-D) hạt-trong-di động/Monte Carlo(PIC/MC) kết quả mô phỏng [8] cócomputationally là tốn kém. Do đó chúng tôi sử dụng một PIC/MChai chiều mô phỏng (2-D) mã OOPIC [10]. ỞPhần 2, kết quả mô phỏng được hiển thị cho cáchình học từ trường. Phân phối từ trườngvới một nam châm cho hình học trong phần 2.1 và cácHồ sơ của số lượng plasma trong phần 2.2. Cácxói mòn Hồ sơ của thử nghiệm và mô phỏngso sánh trong phần 3, và tóm tắt với mộtkết luận được đưa ra trong mục 4.

Kết quả (Việt) 2:

Nhiều hoạt động nghiên cứu về magnetron phún xạ
đã được thực hiện bởi người mẫu. Có
ba chiều (3-D) hạt trong tế bào / Monte Carlo
(PIC / MC) kết quả mô phỏng [8] mà là
tính toán tốn kém. Do đó chúng tôi sử dụng một PIC / MC
hai chiều (2-D) mã mô phỏng OOPIC [10]. Trong
phần 2, kết quả mô phỏng được trình bày cho các
hình học magnetron. Sự phân bố từ trường
nam châm với một hình học đưa ra là tại mục 2.1 và các
hồ sơ của số lượng huyết tương nằm trong Phần 2.2. Các
hồ sơ xói mòn của thí nghiệm và mô phỏng được
so sánh trong phần 3, và các bản tóm tắt với một
kết luận được đưa ra trong phần 4.