Điện áp đầu ra của khuếch đại lần lượt được sử dụng để lái xe nanopositioner. Các cảm biến triển lãm nhỏ nonlinearities, mà có thể được quy cho thiết bị hoàn hảo do dung sai trong quá trình chế tạo MEMS. Các nonlinearities đã được linearized bằng cách sử dụng một bảng tra cứu thứ hai (xem hình 8)
đang được dịch, vui lòng đợi..