Electrothermal displacement sensors

Electrothermal displacement sensors were integrated in a 2-DOF electrostatically-actuated The frequency response and static nonlinearity of the device were characterized in order to implement the controller. The comparison of the scan results obtained by the AFM in open-loop,
closed-loop and closed-loop with inversion configurations demonstrate the effectiveness of MEMS-based sensor integration in achieving high-quality AFM scans at high scan speeds.

Kết quả (Việt) 1:

Bộ cảm biến trọng lượng rẽ nước electrothermal đã được tích hợp trong electrostatically-actuated đáp ứng tần số và tĩnh nonlinearity thiết bị đã được đặc trưng để thực hiện các bộ điều khiển có sở tài chính 2. So sánh các kết quả quét, thu được bằng các AFM, hở,kín và đập kín với cấu hình đảo ngược chứng minh hiệu quả của các MEMS dựa trên cảm biến tích hợp trong việc đạt được chất lượng cao AFM quét ở tốc độ cao quét.

Kết quả (Việt) 2:

Cảm biến chuyển nhiệt điện đã được tích hợp trong một 2-DOF tĩnh điện-actuated Phản ứng tần số và phi tuyến tĩnh của thiết bị này được đặc trưng để thực hiện bộ điều khiển. Việc so sánh các kết quả quét thu được bởi các AFM trong vòng hở,
vòng kín và vòng kín với các cấu hình đảo ngược chứng minh tính hiệu quả của hội nhập cảm biến dựa trên MEMS trong việc đạt được quét AFM-chất lượng cao với tốc độ quét cao.