The x and y axes frequency response

The x and y axes frequency response functions (FRFs) of the MEMS nanopositioner were obtained using the signal analyzer. Displacements of both the axes were biased to their mid-range which were at 8 μm. FRFs were recorded from the inputs applied to the cascaded plant ux , uy in Fig. 8 to the measured displacement dx , dy respectively

Kết quả (Việt) 1:

X và y rìu tần số đáp ứng chức năng (FRFs) của các MEMS nanopositioner đã thu được bằng cách sử dụng phân tích tín hiệu. Displacements cả các trục được thiên vị để họ tầm trung được lúc 8 μm. FRFs đã được ghi lại từ đầu vào được áp dụng cho cây ghép tầng ux, uy trong hình 8 để đo trọng lượng rẽ nước dx, dy tương ứng

Kết quả (Việt) 2:

Các chức năng phản ứng trục x và y tần số (FRFs) của MEMS nanopositioner đã thu được bằng cách sử dụng phân tích tín hiệu. Chuyển vị của cả hai trục được thiên vị đến tầm trung của họ mà là ở mức 8 mm. FRFs được ghi lại từ đầu vào áp dụng cho các nhà máy ux cascaded, uy trong hình. 8 đến dx chuyển đo, dy tương ứng