The mean sensitivity of the x and y

The mean sensitivity of the x and y sensors are approximately 2.29 μm/V and 3.42 μm/V respectively. The power spectral density (PSD) of the sensor output was measured by a HP35670A signal analyzer in order to determine the sensor resolution. The noise floor for the x-axis sensor (worst case) is -90 dBVrms/√Hz. In the open-loop actuator-sensor system this typically translates to a 1 nm displacement resolution over a 100 Hz frequency bandwidth.

Kết quả (Việt) 1:

Độ nhạy trung bình của x và y cảm biến là khoảng 2,29 μm/V và μm 3.42/V tương ứng. Điện quang phổ mật độ (PSD) của đầu ra cảm biến được đo bằng một phân tích tín hiệu HP35670A để xác định độ phân giải cảm biến. Sàn tiếng ồn nhất cảm biến trục x (trường hợp xấu nhất) là-90 dBVrms/√Hz. Trong hệ thống hở chấp hành-cảm biến thường dịch này đến một độ phân giải 1 thuyên nm qua một băng thông 100 Hz tần số.

Kết quả (Việt) 2:

Độ nhạy nghĩa của x và cảm biến y là khoảng 2,29 mm / V và 3,42 mm / V tương ứng. Mật độ phổ công suất (PSD) của các cảm biến đầu được đo bằng một máy phân tích tín hiệu HP35670A để xác định độ phân giải cảm biến. Tầng tiếng ồn cho các cảm biến trục x (trường hợp xấu nhất) là -90 dBVrms / √Hz. Trong hệ thống truyền động-cảm biến vòng hở này thường chuyển đến một giải pháp chuyển 1 nm trên một băng thông tần số 100 Hz.