và 30 nm. Sức mạnh và tốc độ dòng khí cho ba mẫu được liệt kê trong Bảng 1. Cuối cùng, một lớp Củ 0,2 mm dày được phún xạ trên PI. Sau khi các phương pháp phún xạ của Cu, các mẫu
đã được sau đó mạ điện bằng tinh khiết Cu tới độ dày 8 mm. Mật độ hiện tại và tốc độ cuộn cho mạ điện Cu là 1,3 A / dm 2 (ASD) và 320 mm / phút, tương ứng.
đang được dịch, vui lòng đợi..
