Such resonant transducers are used for the measurement of pressure, acceleration, strain, vibration, and so on. Figure 5.3 shows a micrograph of a micro polysilicon resonant microbeam transducer.
Các cảm biến cộng hưởng được sử dụng để đo áp suất, tăng tốc, căng thẳng, rung động, và như vậy. Con số 5.3 cho thấy một micrograph một bộ biến cộng hưởng microbeam vi polysilicon.
Đầu dò cộng hưởng như vậy được sử dụng để đo áp lực, tăng tốc, căng thẳng, rung động, và như vậy. Hình 5.3 cho thấy một ảnh chụp hiển vi của một vi polysilicon microbeam cộng hưởng đầu dò.