Instead the tip processing is compl

Instead the tip processing is completed by a thermal wet oxidation at 950
C. This partly serves as a controlled and uniform termination of the tip and partly as a sharpening of the tip apex [6]. Finally the thermal oxide and the oxide masks are removed in HF (figure 2(e)), yielding high rocket-shaped tips with a radius of curvature below 20 nm

Kết quả (Việt) 1:

Thay vào đó việc xử lý Mẹo được hoàn thành bởi một quá trình oxy hóa ẩm ướt nhiệt tại 950
C. Điều này một phần phục vụ như là một kết thúc kiểm soát và thống nhất của đầu và một phần là một mài Mẹo đỉnh [6]. Cuối cùng các oxit nhiệt và mặt nạ ôxít được loại bỏ trong HF (con số 2(e)), năng suất cao hình tên lửa Mẹo với một bán kính của suất cong dưới 20 nm

Kết quả (Việt) 2:

Thay vì việc xử lý đầu được hoàn thành bởi một quá trình oxy hóa ướt nhiệt ở 950
? C. Điều này phần nào phục vụ như một chấm dứt được kiểm soát và thống nhất đầu và một phần là mài của đỉnh đầu [6]. Cuối cùng là oxit nhiệt và mặt nạ oxit được loại bỏ trong HF (hình 2 (e)), năng suất lời khuyên tên lửa hình cao với một bán kính cong dưới 20 nm