kết quả thu được tóm tắt trong Bảng 1. Trong cùng một bảng, cũng được báo cáo bảng điện tử den- sity của 2DEG. Mặt khác, chúng tôi đã nghiên cứu ảnh hưởng của độ dày AlN trên di động của electron. Như đã được tìm thấy, tăng tính di động mạnh với sự chèn của một lớp xen AlN và đạt 1300 cm2 V 1 của 1 cho AlN độ dày của 1 nm (xem hình. 4).
đang được dịch, vui lòng đợi..