Nhắm mục tiêu các VOC phát thải tại như là một chức năng của quá trình thế hệ (micron). Phát thải đều được chuẩn hoá bởi cm vuông của silicon thiết bị sản xuất.
VOC nhắm mục tiêu như là một chức năng của thế hệ quá trình (micron). Khí thải được chuẩn hóa bởi centimet vuông của các thiết bị silicon được sản xuất.