Máy làm nhỏ như côn trùng, hoặc thậm chí nhỏ hơn, đã là một giấc mơ của các nhà khoa học trong nhiều năm. Có thể được thực hiện bằng kỹ thuật in thạch bản hiện tại, chẳng hạn vi hệ thống hiện đang được sản xuất và áp dụng trong cuộc sống hàng ngày của chúng tôi. Những máy như vậy được gọi là hệ thống cơ khí-điện-vi (MEMS), thường bao gồm các thiết bị cơ khí và điện. Có nhiều thiết bị MEMS, từ cơ cấu chấp hành vi và cảm biến cho các thiết bị thể lỏng siêu nhỏ, được thiết kế và sản xuất ngày hôm nay. Công nghệ này có ứng dụng rất rộng rãi trong thông tin liên lạc, y tế, hàng không vũ trụ, robot, và như vậy.
đang được dịch, vui lòng đợi..