Kết quả kết luận rằng bộ truyền động nhiệt điện là
rất nhạy cảm với sự thay đổi hình học. Nó đã được
nhận ra rằng vũ khí nóng còn sản xuất nhiều hơn độ võng nhưng một
sự cân bằng nằm trong ý nghĩa đó, vào việc tăng chiều dài của
cánh tay nóng, sức đề kháng cũng tăng lên, do đó, có một cơ hội
thất bại do stiction với lớp nền. Mở giảm khoảng cách
giữa các dầm của thiết bị truyền động, tip chuyển
tăng. Vì vậy, nó là mong muốn sử dụng vũ khí nóng kéo dài hơn, hẹp hơn
khoảng cách giữa các dầm, uốn tối ưu và dầm lạnh
và dầm lạnh rộng lớn hơn để sản xuất nhiều hơn độ võng. Rộng hơn
dầm nóng sẽ làm giảm chuyển vị. Các hình học
biến thể trong các thiết bị truyền động làm tăng chuyển ở
mũi đáng kể nhưng nhiệt độ tối đa trong các
thiết bị truyền động là ít nhạy cảm với các biến thể hình học. Các
lợi thế chính của thiết kế U-beam này là vật liệu duy nhất
được sử dụng. Do đó, những thiết kế này là dễ chế tạo và
cung cấp chuyển vị lớn ngay tại ứng dụng nhỏ hơn
điện áp. Ngoài ra vật liệu khác nhau có thể được sử dụng như polyme,
vì họ là không dẫn điện, chúng có thể được sử dụng cho các
microgrippers trong các ứng dụng y sinh học. Kim loại cũng có thể được
sử dụng như là họ có nhiều dẫn hơn Polysilicon, chúng có thể
dẫn đến nhiều chuyển vị. Các mảng của các loại
thiết bị truyền động có thể được sử dụng cho các ứng dụng khác nhau như trong
chuyển đổi các ứng dụng, động cơ bước.
đang được dịch, vui lòng đợi..