Một bộ phim tinh thể áp điện mỏng PZT được sử dụng để tải nạp tín hiệu trong một gia tốc vi với một chùm cantilever làm bằng silicon. Các gia tốc được thiết kế để tối đa khả năng tăng tốc / giảm tốc 10g. Đầu dò PZT được đặt tại cơ sở hỗ trợ của chùm hẫng nơi sự căng thẳng tối đa tồn tại trong sự bẻ cong của dầm, như minh họa trong hình. Xác định điện áp đầu ra điện từ các bộ phim PZT tại gia tốc tối đa / giảm tốc 10g. Các hệ số áp điện của bộ phim PZT là d = 480 × 1.012 m / V.
đang được dịch, vui lòng đợi..