. Bước trực tiếp trên wafer aligners thường sử dụng một mặt nạ 5 x (thường được gọi là một mặt kẻ ô) như là một tiêu cực. Nó thường sẽ bao gồm chỉ một bản duy nhất của các mạch, mặc dù một số bản sao có thể được sử dụng cho nhỏ ICs.
đang được dịch, vui lòng đợi..
