- Đến năm 1970, cả hai phân lập bên và dọc được cung cấp bởi các nút pn - Năm 1971, oxit nhiệt được sử dụng để cô lập bên, dẫn đến một kích thước thiết bị giảm - ở thời điểm hiện tại, tất cả các kích thước bên và theo chiều dọc đã được thu nhỏ lại và độ rộng phát sọc có kích thước trong khu vực submicron
đang được dịch, vui lòng đợi..
