AbstractIn the present work, we hav

Abstract
In the present work, we have successfully fabricated various 1D and 2D plasmonic gold
nano-structures on glass substrate. The gold nano-islands were obtained by thermally
annealing sputtered gold nano-layers at high temperatures. The experimental characteri-
zations have shown that the fabrication conditions, such as annealing temperature, initial
sputtered lm thickness, and substrate material, are the crucial factors, which can be ex-
ploited to tune the plasmon resonance of the plasmonic structures. Furthermore, we have
proposed a novel method based on a combination of the optical lithography technique and
a conventional thermal annealing process to fabricate desired periodic plasmonic struc-
tures. A gold nano-layer was isotropically sputtered onto the top and the side wall of
S1805 photoresist templates, which had been previously fabricated by the standard laser
interference lithography process. During the subsequent thermal annealing, the gold coat-
ing layer was melted and split, allowing the S1805 core-template to evaporate gradually
from the substrate surface and leave the desired metal structures. The proposed fabri-
cation method exhibits great advantages, such as simplicity and high throughput, which
allows one to realize desired plasmonic structures that are very promising for numerous
applications, especially photonic devices and bio-technology.
5

Kết quả (Việt) 1:

Tóm tắtTrong công việc hiện tại, chúng tôi đã thành công chế tạo khác nhau 1D và 2D plasmonic vàngcấu trúc Nano trên bề mặt kính. Vàng nano-đảo đã được thu được bằng cách nhiệtlàm cho deo sputtered vàng nano-lớp ở nhiệt độ cao. Thử nghiệm characteri-zations đã chỉ ra rằng các điều kiện sản xuất, chẳng hạn như nhiệt độ tôi, ban đầusputtered lm độ dày và bề mặt vật chất, là những yếu tố rất quan trọng, có thể là ex-ploited để điều chỉnh cộng hưởng plasmon các plasmonic cấu trúc. Hơn nữa, chúng ta cóđề xuất một phương pháp cuốn tiểu thuyết dựa trên sự kết hợp của các kỹ thuật in thạch bản quang học vàmột nhiệt thường ủ quá trình chế tạo mong muốn định kỳ struc plasmonic-Tures. Một vàng nano-lớp isotropically được sputtered lên đỉnh và tường bên củaS1805 hoà mẫu, mà đã được chế tạo trước đó bằng laser tiêu chuẩntrong quá trình in thạch bản can thiệp. Trong thời gian tiếp theo nhiệt làm cho deo, áo vàng-ing lớp được tan chảy và phân chia, cho phép các lõi S1805-mẫu để bốc hơi dần dầntừ bề mặt bề mặt và để lại các cấu trúc kim loại mong muốn. Fabri đề xuất-cation phương pháp thể hiện lợi thế rất lớn, chẳng hạn như đơn giản và băng thông cao, màcho phép một để nhận ra mong muốn các cấu trúc plasmonic là rất hứa hẹn cho rất nhiềuứng dụng, đặc biệt là quang tử, thiết bị và công nghệ sinh học.5

Kết quả (Việt) 2:

Tóm tắt
Trong công việc hiện tại, chúng tôi đã chế tạo thành công 1D và 2D khác nhau vàng plasmon
cấu trúc nano trên bề mặt kính. Vàng nano-đảo đã thu được bằng cách dùng nhiệt
ủ phún xạ vàng nano-lớp ở nhiệt độ cao. Việc tìm ra đặc điểm thực nghiệm
tổ đã chỉ ra rằng các điều kiện chế tạo, chẳng hạn như nhiệt độ ủ, ban đầu
dày lm phún xạ, và các vật liệu chất nền, là những yếu tố rất quan trọng, có thể được nghiệm
ploited để điều chỉnh cộng hưởng plasmon của các cấu trúc plasmon. Hơn nữa, chúng tôi đã
đề xuất một phương pháp mới dựa trên sự kết hợp của kỹ thuật in thạch bản quang học và
một quá trình ủ nhiệt thông thường để chế tạo mong muốn kỳ trúc plasmon
các cấu. Một vàng nano-layer được đẳng hướng phún xạ lên phía trên và bên tường của
S1805 mẫu photoresist, mà trước đó đã được chế tạo bởi tia laser tiêu chuẩn
quá trình khắc giao thoa. Trong ủ nhiệt tiếp theo, vàng coat-
lớp ing đã tan chảy và phân chia, cho phép S1805 core-mẫu để bay hơi dần dần
từ bề mặt chất nền và để lại các cấu kiện kim loại mong muốn. Các đề xuất fabri-
phương pháp cation thể hiện lợi thế rất lớn, chẳng hạn như đơn giản và thông lượng cao, trong đó
cho phép một để nhận ra cấu trúc plasmon mong muốn đó là rất hứa hẹn cho nhiều
ứng dụng, đặc biệt là các thiết bị quang tử và công nghệ sinh học.
5