In addition, the width of the conve

In addition, the width of the convex structures was designed to be several micrometers larger than that of
the concave ones. This enables self-alignment of the centers of the
concave and convex structures when the convex structures are fitted into the concave ones (Fig. 2(b)). Although this alignment may
cause a vertical gap between the bases of the probe and micro-drive
parts due to fabrication error, the gap was only several micrometers, much less than the width of the electrodes (about 100 m).
Moreover, in the fabrication of the sidewall structures of the electrode, a transfer error in the photo-lithography step was 1–2 m
and a fabrication error in the chemical etching step was about 5 m.
Thus, the use of this concave–convex structure provides alignment
accuracy of about 10 m. In addition, the probe and micro-drive
parts are isolated by a silicon-oxide insulation layer formed on the
micro-drive part

Kết quả (Việt) 1:

Ngoài ra, chiều rộng của các cấu trúc lồi được thiết kế để là một số thước micrômét lớn hơn của
lõm người. Điều này cho phép tự liên kết của các trung tâm của các
lồi và lõm cấu trúc khi các cấu trúc lồi được trang bị vào lõm những (hình 2(b)). Mặc dù liên kết này có thể
gây ra sự cách biệt dọc giữa các căn cứ của các thăm dò và vi lái xe
Các bộ phận do sản xuất lỗi, khoảng cách là chỉ một số micromét, ít hơn nhiều so với chiều rộng của các điện cực (khoảng 100 m).
hơn nữa, chế tạo các cấu trúc lốp của điện cực, một lỗi chuyển trong bước ảnh-in thạch bản là 1-2 m
và một lỗi chế tạo trong bước khắc axit hóa học khoảng 5 m.
do đó, việc sử dụng các cấu trúc lõm-lồi này cung cấp các liên kết
tính chính xác của khoảng 10 m. Trong ngoài ra, thăm dò và vi-lái xe
phần được cô lập bằng một lớp cách nhiệt silicon-ôxít được hình thành trên các
một phần vi lái xe

Kết quả (Việt) 2:

Ngoài ra, chiều rộng của các cấu trúc lồi được thiết kế để có một vài micromet lớn hơn so với
những người lõm. Điều này cho phép tự liên kết của các trung tâm của
cấu trúc lõm và lồi khi các cấu trúc lồi được gắn vào những cái lõm (Hình 2 (b)). Mặc dù liên kết này có thể
gây ra một khoảng cách dọc giữa các căn cứ của tàu thăm dò và vi ổ
phần do lỗi chế tạo, khoảng cách chỉ là một vài micromet, ít hơn nhiều so với chiều rộng của các điện cực (khoảng 100 m).
Hơn nữa, trong chế tạo các cấu trúc lốp của các điện cực, một lỗi trong bước chuyển hình ảnh in thạch bản đã được 1-2? m
và một lỗi chế tạo trong bước khắc hóa học là khoảng 5 m?.
Vì vậy, việc sử dụng các cấu trúc lõm-lồi này cung cấp chỉnh
độ chính xác khoảng 10 m?. Ngoài ra, thăm dò và vi ổ
phần đang bị cô lập bởi một lớp cách điện silicon oxit hình thành trên
phần vi ổ đĩa