Hàm truyền của bộ điều khiển PPF rolls-off tại 40 dB/thập kỷ ở tần số cao, mà là một tài sản mong muốn để tránh kích thích của tần số cao động lực học của nanopositioner. Một bộ điều khiển tích phân theo dõi được thực hiện trong các vòng lặp bên ngoài để cải thiện các tần số thấp theo dõi (xem hình 10).
đang được dịch, vui lòng đợi..