A dual-axis micro-mechanical probe

A dual-axis micro-mechanical probe with an electrostatic actuator was developed. The actuator can deflect a double-cantilever
beam for the lateral force detection. A micro-drive part was fabricated by anisotropic chemical etching and combined with the
probe. The electrode of the micro-drive part faced to that of the
double-cantilever beam of the probe part at a gap on the order of
10 m. The fine alignment was achieved by fabricating micro convex and concave structures on the micro-drive and probe parts,
respectively. The fabricated actuator can oscillate the doublecantilever beam and modulate the sliding speed by changing the
oscillation amplitude. The probe can thus be used to measure
dynamic frictional properties. The lateral oscillation of the probe
can be used to evaluate the local frictional and rheological properties of the 1.9-nm-thick liquid lubricant film with a 10-m-wide
line and space pattern. A dual-axis micro-mechanical probe with
this electrostatic actuator can thus be used to clarify local rheological properties and to better visualize material properties

Kết quả (Việt) 1:

Một thăm dò cơ khí micro kép trục với một thiết bị truyền động tĩnh điện đã được phát triển. Thiết bị truyền động có thể làm chệch hướng một đôi, cần cẩu côngxon
chùm phát hiện lực lượng bên. Một phần vi lái xe được chế tạo bởi đẳng hướng hóa học khắc và kết hợp với các
thăm dò. Các điện cực của phần vi lái xe phải đối mặt với các
đôi-cần cẩu côngxon chùm phần thăm dò ở một khoảng cách trên yêu cầu của
10 m. Liên kết tốt đạt được bằng cách chế tạo vi cấu trúc lồi và lõm trên bộ phận lái xe vi và thăm dò,
tương ứng. Thiết bị truyền động chế tạo có thể dao động các chùm tia doublecantilever và điều chỉnh tốc độ trượt bằng cách thay đổi các
biên độ dao động. Các thăm dò do đó có thể được sử dụng để đo lường
tính chất năng động của ma sát. Dao động bên các thăm dò
có thể được sử dụng để đánh giá tính ma sát và lưu biến địa phương của bộ phim xử lý màng bôi lỏng 1.9 nm, dày với một 10 m phạm vi
mô hình dòng và không gian. Một thăm dò cơ khí micro kép trục với
này thiết bị truyền động tĩnh điện do đó có thể được sử dụng để làm rõ các thuộc tính lưu biến địa phương và tốt hơn hình ảnh thuộc tính tài liệu

Kết quả (Việt) 2:

Một trục kép thăm dò vi cơ khí với một thiết bị truyền động điện đã được phát triển. Bộ truyền động có thể làm chệch hướng một đôi hẫng
dầm để phát hiện lực lượng bên. Một phần vi lái xe đã được chế tạo bằng cách ăn mòn hóa bất đẳng hướng và kết hợp với
thăm dò. Điện cực của phần vi ổ đĩa phải đối mặt với các
chùm kép hẫng của phần thăm dò tại một khoảng cách về trình tự của
10? m. Sự liên kết tốt đã đạt được bằng cách chế tạo lồi vi và cấu trúc lõm trên vi ổ đĩa và các bộ phận thăm dò,
tương ứng. Các thiết bị truyền động chế tạo có thể dao động tia doublecantilever và điều chỉnh tốc độ trượt bằng cách thay đổi
biên độ dao động. Thăm dò do đó có thể được sử dụng để đo lường
tính chất ma sát động. Dao động ngang của tàu thăm dò
có thể được sử dụng để đánh giá các đặc tính ma sát và lưu biến địa phương của bộ phim chất bôi trơn lỏng 1,9-nm dày với 10 - m-rộng?
dòng và không gian mẫu. Một trục kép thăm dò vi cơ khí với
thiết bị truyền động điện này do đó có thể được sử dụng để làm rõ tính chất lưu biến địa phương và hình dung rõ hơn tính chất vật liệu