The sensor is a polysilicon surface

The sensor is a polysilicon surface-micromachined structure built on top of a silicon wafer. Polysilicon springs suspend the structure over the surface of the wafer and provide a resistance
against acceleration forces. Deflection of the structure is measured using a differential capacitor that consists of independent fixed plates and plates attached to the moving mass. The fixed plates are driven by 180° out-of-phase square waves. Acceleration deflects the moving mass and unbalances the differential capacitor resulting in a sensor output whose amplitude is proportional to acceleration. Phase-sensitive demodulation techniques are then used to determine the magnitude and direction of the acceleration.

Kết quả (Việt) 1:

Bộ cảm biến là một cấu trúc bề mặt micromachined polysilicon được xây dựng trên đầu trang của bánh wafer silicon. Lò xo polysilicon tạm ngưng các cấu trúc trên bề mặt của wafer và cung cấp một sức đề khángchống lại lực lượng tăng tốc. Độ lệch của cấu trúc được đo bằng cách sử dụng một tụ điện vi sai bao gồm độc lập cố định tấm và tấm gắn liền với khối lượng di chuyển. Cố định tấm được thúc đẩy bởi 180° ra giai đoạn sóng vuông. Tăng tốc số di chuyển khối lượng và unbalances các tụ điện vi sai dẫn đến một cảm biến ra có biên độ là tỷ lệ thuận với gia tốc. Kỹ thuật giai đoạn nhạy cảm Defined sau đó được sử dụng để xác định cường độ và hướng của gia tốc.

Kết quả (Việt) 2:

Cảm biến là một polysilicon bề mặt vi cơ cấu được xây dựng trên một miếng silicon. Suối polysilicon đình chỉ cơ cấu trên bề mặt của wafer và cung cấp một sức đề kháng
chống lại các lực lượng tăng tốc. Độ võng của cấu trúc được đo bằng một tụ điện khác biệt mà bao gồm bản cố định độc lập và tấm gắn với khối lượng chuyển động. Các bản cố định được định hướng bởi 180 ° out-of-giai đoạn sóng vuông. Acceleration lệch khối lượng di chuyển và unbalances các tụ khác biệt dẫn đến sản lượng cảm biến có biên độ tỉ lệ với tốc. Kỹ thuật giải điều chế giai đoạn nhạy cảm này sau đó được sử dụng để xác định độ lớn và hướng của gia tốc.