Tăng trưởng epitaxy:. Do sự tương tác của các chùm phân tử hay nguyên tử trên bề mặt của một chất nền tinh thể nước nóng
Các nguồn nguyên liệu rắn thăng hoa
Họ cung cấp một phân phối góc của nguyên tử hay phân tử trong một chùm.
Các bề mặt được làm nóng đến nhiệt độ cần thiết.
Các khí các yếu tố sau đó ngưng tụ trên wafer, nơi họ có thể phản ứng với nhau.
đang được dịch, vui lòng đợi..