The system that is used to obtain d

The system that is used to obtain data is a conventional racetrack-type planar magnetron device.
The schematic with magnetic field distribution is shown
in Fig. 1. It is well-known that the zero crossing points of
the magnetic field component perpendicular to the
cathode surface are the points of maximum plasma
density and maximum erosion [4, 11]. We have shown a
magnetic-field distribution perpendicular to the cathode
surface obtained by simulation method in Fig. 2. The
magnetic field lines are calculated by 2 dimensional (2D)
modeling software comsol [12]. The magnetic field
component (By) that is perpendicular to the cathode
surface is compared. The positions of field lines start
from -3mm to +3mm around the cathode surface at
intervals of 1mm distance. At zero crossing points of the
magnetic field, field lines are monotonically increasing or
decreasing.

Kết quả (Việt) 1:

Hệ thống được sử dụng để có được dữ liệu là một thiết bị hai chiều từ trường đua-kiểu thông thường.Sơ đồ phân bố từ trường Hiển thịtrong hình 1. Nó là nổi tiếng qua không chỉ củaCác thành phần từ trường vuông góc với cácbề mặt để làm cực âm là điểm tối đa plasmamật độ và tối đa xói mòn [4, 11]. Chúng tôi đã chỉ ra mộttừ lĩnh vực phân phối vuông góc với để làm cực âmbề mặt thu được bằng phương pháp mô phỏng trong hình 2. Cáctừ trường dòng được tính toán bởi 2 chiều (2D)Mô hình hóa phần mềm comsol [12]. Từ trườngCác thành phần (bởi) mà là vuông góc với để làm cực âmbề mặt được so sánh. Vị trí của trường dòng bắt đầutừ-3 mm để + 3 mm xung quanh thành phố bề mặt để làm cực âm ởkhoảng 1mm khoảng cách. Tại không qua điểm khác nhau của cáctừ trường, sát đường đang monotonically tăng hoặcgiảm.

Kết quả (Việt) 2:

Hệ thống được sử dụng để có được dữ liệu là một đường đua-loại thiết bị phẳng magnetron thông thường.
Các sơ đồ với phân bố từ trường được thể hiện
trong hình. 1. Nó là nổi tiếng mà không qua điểm của
các thành phần từ trường vuông góc với
bề mặt cathode là các điểm của huyết tương tối đa
mật độ tối đa và xói mòn [4, 11]. Chúng tôi đã cho thấy một
phân phối từ trường vuông góc với cathode
bề mặt thu được bằng phương pháp mô phỏng trong hình. 2. Các
đường sức từ trường được tính bằng 2 chiều (2D)
mô hình phần mềm COMSOL [12]. Các lĩnh vực từ
thành phần (By) vuông góc với cực âm
bề mặt được so sánh. Các vị trí của các đường bắt đầu
từ -3mm để + 3mm xung quanh bề mặt cathode tại
các khoảng thời gian khoảng cách 1mm. Tại không có điểm giao nhau của các
từ trường, đường được đơn điệu tăng hoặc
giảm.