This system performs wafer centerin

This system performs wafer centering and notch alignment using non-contact optical detecting method.

Excerpted from “RA320オプション項目.docx”

Insertion of a phrase into a sentence.

Refer to "Communication Specifications" separately submitted for the details of the control such as the protocol specifications, etc

Approx 5 seconds

In this case, the positioning speed means the time from the centering to the stop. Wafer is placed ± 3 mm away from the aligner center, and the notch rotates counterclockwise by 270 degrees from the sensor and the wafer stops.

Kết quả (Việt) 2:

Hệ thống này thực hiện wafer centering và liên kết notch sử dụng không tiếp xúc phương pháp phát hiện quang. Trích từ "RA320オプション項目.docx" Đầu vào một cụm từ vào một câu. Tham khảo "Thông số kỹ thuật truyền thông" riêng gửi cho các chi tiết của các điều khiển như các kỹ thuật giao thức, vv Khoảng 5 giây Trong trường hợp này, tốc độ định vị có nghĩa là thời gian từ khi định tâm đến điểm dừng. Wafer được đặt ± 3 mm tính từ tâm Aligner, và quay ngược chiều kim đồng notch bởi 270 độ từ cảm biến và các wafer dừng.