The intermediate image that is crea

The intermediate image that is created is called a rcticle and is usually 5 or 10 times real size. A third method uses an electron beam (E- beam) to generate the actual patterns directly onto the final masks. This method produces the best quality masks and is used extensively for very small geometries, but it requires considerable time and expensive equipment.

Kết quả (Việt) 1:

Hình ảnh trung gian tạo ra được gọi là một rcticle và là thường 5 hoặc 10 lần thực sự kích thước. Một phương pháp thứ ba sử dụng một chùm tia điện tử (E-chùm) để tạo ra các mô hình thực tế trực tiếp vào các mặt nạ cuối cùng. Phương pháp này sản xuất mặt nạ chất lượng tốt nhất và được sử dụng rộng rãi cho hình rất nhỏ, nhưng nó đòi hỏi thời gian đáng kể và thiết bị đắt tiền.

Kết quả (Việt) 2:

Hình ảnh trung gian được tạo ra được gọi là một rcticle và thường là 5 hoặc 10 lần kích thước thật. Một phương pháp thứ ba sử dụng một chùm tia điện tử (E-beam) để tạo ra các mô hình thực tế trực tiếp lên mặt nạ thức. Phương pháp này tạo ra mặt nạ chất lượng tốt nhất và được sử dụng rộng rãi cho hình học rất nhỏ, nhưng nó đòi hỏi nhiều thời gian và thiết bị đắt tiền.