Fig. 12. AFM scan results obtained

Fig. 12. AFM scan results obtained at 10 Hz, 50 Hz and 100 Hz, in open-loop, closed-loop and closed-loop with inversion feedforward. 3-D topography of
the sample is plotted. For the time signal plots, the left-hand scale is for the fast-axis reference (blue) and displacement (red) signals of the nanopositioner.
The right-hand scale is for the tracking errors (green). These are plotted in (μm Vs. msec).

Kết quả (Việt) 1:

Hình 12. AFM quét kết quả đạt được 10 Hz, 50 Hz và 100 Hz, hở, kín và đập kín với đảo ngược feedforward. Địa hình 3-Dmẫu âm mưu. Đối với thời gian tín hiệu lô, quy mô bên trái là cho tham khảo nhanh-trục (màu xanh) và trọng lượng rẽ nước (màu đỏ) tín hiệu của nanopositioner.Quy mô bên phải là theo dõi lỗi (màu xanh lá cây). Đây âm mưu trong (μm vs msec).

Kết quả (Việt) 2:

Sung. 12. AFM kết quả quét được lấy tại 10 Hz, 50 Hz và 100 Hz, trong vòng hở, vòng kín và vòng kín với đảo ngược feedforward. 3-D địa hình của
mẫu được vẽ. Đối với các lô tín hiệu thời gian, quy mô bên tay trái là để tham khảo nhanh trục (màu xanh) và dịch chuyển (màu đỏ) tín hiệu của nanopositioner.
Quy mô bên phải là dành cho các lỗi theo dõi (màu xanh lá cây). Đây là những âm mưu trong (mm Vs. msec).