Bán dẫn tiêu biểu đơn vị căng-gage
unbonded do not associated
pha tạp đều
khuếch tán loại p gage
cảm biến áp lực tích hợp
tích hợp đúc hẫng dầm cảm biến lực
Từ Transducers cho đo y tế:
ứng dụng và Thiết kế
In lại với sự cho phép
Các thiết bị này được tích hợp có thể được xây dựng với cả silic germanium p hoặc loại n như các chất nền hình thành các cấu trúc cứng. Các vật liệu đối diện-type được khuếch tán vào bề mặt. Dấu hiệu ngược lại cho các yếu tố gage dẫn cho các thiết bị đo bề n và loại p. Một yếu tố gage lớn có thể đạt được với chất liệu pha tạp nhẹ. Hình 2.4 cho thấy các đơn vị căng-gage bán dẫn điển hình.
đang được dịch, vui lòng đợi..
