Giai đoạn thay đổi ống kính bồi thường. Một phương pháp kiểm soát rìa kết hợp một ống kính, mà có thể được dịch dọc theo trục quang học của nó, trong đường dẫn chùm đối tượng để bù đắp cho giai đoạn không mong muốn thay đổi gây ra bởi phong trào đối tượng (Ref 2). Hơn nữa, phương pháp này có thể được thích nghi với kỹ thuật đôi-tiếp xúc bằng cách sử dụng một chùm tài liệu tham khảo khác nhau cho mỗi tiếp xúc và cả hai dầm tham chiếu trong bước xây dựng lại.
đang được dịch, vui lòng đợi..