As a response to these difficulties

As a response to these difficulties, electron-beam lithography and X-ray lithography techniques have been developed as alternatives to photolithography. In the case of electron beam lithography, the pattern is written in a polymer film with a beam of electrons. Since diffraction effects are largely reduced due to the wavelength of electrons, there is no blurring of features, and thus the resolution is greatly improved. However, the electron beam technique is very expensive and very slow. In the case of X-ray lithography, diffraction effects are also minimized due to the short wavelength of X-rays, but conventional lenses are not capable of focusing X-rays and the radiation damages most of the materials used for masks and lenses.
Due to these limitations, the most recent lithography methods, such as printing, stamping, and molding, use mechanical processes instead of photons or electrons. These methods are normally called soft lithography methods because they involve the use of polymers. They are discussed in Chapter 8. The process starts with the fabrication of a mold by photolithograpy or e-beam lithography. Subsequently, a chemical precursor to polydimethylfiloxane (PDMS) is applied over the mold and cured. As a result, a solid PDMS stamp that matches the pattern of the mold is produced. The stamp can then be used in several ways to make structures at the nanoscale. For example, in the case of microcontact printing the stamp is coated with a solution consisting of organic molecules ( thiol ink) and compressed into a thin film of gold (Au) deposited on a silicon (Si) wafer. In this fashion the thiol ink is transferred from the stamp to the gold surface, reproducing the original pattern of the stamp. In the case of micromolding, the PDMS stamp sits on a flat, hard surface and a liquid polymer is injected into any available cavity between the stamp and the surface. Subsequently, the polymer cures into the patterns provided by the cavities. The advantages of using soft lithography methods are (1) no special equipment is required, and (2) versatility in the range of materials

Kết quả (Việt) 1:

Như là một phản ứng với những khó khăn, in thạch bản chùm điện tử và các tia x in thạch bản kỹ thuật đã được phát triển như là lựa chọn thay thế để photolithography. Trong trường hợp in thạch bản chùm điện tử, mô hình được viết trong một bộ phim polymer với một chùm electron. Kể từ khi tác động nhiễu xạ chủ yếu được giảm do các bước sóng của các điện tử, không có không làm mờ các tính năng, và do đó độ phân giải cải thiện rất nhiều. Tuy nhiên, kỹ thuật chùm tia điện tử là rất tốn kém và rất chậm. Trong trường hợp in thạch bản chụp x-quang, nhiễu xạ tác dụng cũng được giảm thiểu vì các bước sóng ngắn của tia x, nhưng ống kính thông thường không có khả năng tập trung chụp x-quang và bức xạ, thiệt hại hầu hết các vật liệu được sử dụng cho các mặt nạ và ống kính.Do những hạn chế này, các phương pháp đặt in thạch bản, chẳng hạn như in ấn, dán tem, và đúc, sử dụng các quá trình cơ học thay vì các photon hoặc điện tử. Những phương pháp này thường được gọi là phương pháp in thạch bản mềm vì chúng liên quan đến việc sử dụng các polyme. Họ được thảo luận ở chương 8. Quá trình bắt đầu với sản xuất một khuôn bằng photolithograpy hoặc e-chùm in thạch bản. Sau đó, tiền thân của hóa chất polydimethylfiloxane (PDMS) áp dụng trên khuôn và chữa khỏi. Kết quả là một con tem PDMS rắn phù hợp với mô hình của khuôn được sản xuất. Con tem sau đó có thể được sử dụng trong một số cách để làm cho cấu trúc của Nano. Ví dụ, trong trường hợp của microcontact in ấn con tem tráng với một giải pháp bao gồm các phân tử hữu cơ (sulfhydryl mực) và nén thành một màng mỏng của vàng (Au) gửi vào wafer silic (Si). Trong thời trang này sulfhydryl mực được chuyển từ con tem trên bề mặt vàng, tái tạo mô hình ban đầu của các con tem. Trong trường hợp của micromolding, tem PDMS nằm trên một bề mặt phẳng, cứng và một polymer dạng lỏng được tiêm vào bất kỳ khoang có sẵn giữa các con tem và bề mặt. Sau đó, vào các mẫu được cung cấp bởi các hốc polymer chữa trị. Những lợi thế của việc sử dụng phương pháp in thạch bản mềm là (1) không có thiết bị đặc biệt là cần thiết, và (2) tính linh hoạt trong phạm vi của tài liệu

Kết quả (Việt) 2:

Như một phản ứng với những khó khăn này, Quang khắc chùm điện tử và X-quang kỹ thuật in thạch bản đã được phát triển như là lựa chọn thay thế để in ảnh litô. Trong trường hợp của chùm tia điện tử in thạch bản, mô hình được viết bằng một màng polymer với một chùm tia điện tử. Từ hiệu ứng nhiễu xạ được giảm chủ yếu là do bước sóng của electron, không có làm mờ các tính năng, và do đó độ phân giải được cải thiện rất nhiều. Tuy nhiên, kỹ thuật chùm tia điện tử là rất tốn kém và rất chậm. Trong trường hợp in thạch bản X-quang, các hiệu ứng nhiễu xạ cũng được giảm thiểu do bước sóng ngắn của tia X, nhưng ống kính thông thường không có khả năng tập trung X-quang và các thiệt hại bức xạ hầu hết các vật liệu sử dụng cho các mặt nạ và ống kính.
Do những hạn chế, các phương pháp in thạch bản gần đây nhất, chẳng hạn như in ấn, dập, và đúc, sử dụng các quá trình cơ học thay vì các photon hoặc electron. Những phương pháp này thường được gọi là phương pháp in thạch bản mềm, vì chúng liên quan đến việc sử dụng polymer. Họ sẽ được thảo luận trong Chương 8. Quá trình bắt đầu với việc chế tạo một khuôn bằng photolithograpy hoặc e-beam lithography. Sau đó, một tiền chất hóa học để polydimethylfiloxane (PDMS) được áp dụng trên khuôn và chữa khỏi. Kết quả là, một con tem PDMS rắn phù hợp với mô hình của khuôn được sản xuất. Con tem sau đó có thể được sử dụng trong một số cách để làm cho các cấu trúc ở cấp độ nano. Ví dụ, trong trường hợp của microcontact in tem tráng với một giải pháp bao gồm các phân tử hữu cơ (mực thiol) và được nén thành một màng mỏng của vàng (Au) đọng lại trên silicon (Si) wafer. Trong thời trang này mực thiol được chuyển từ tem với bề mặt vàng, tái tạo các mô hình ban đầu của các con tem. Trong trường hợp của micromolding, tem PDMS ngồi trên một bề mặt cứng bằng phẳng và một polymer lỏng được tiêm vào bất kỳ khoang có sẵn giữa các tem và bề mặt. Sau đó, các polymer chữa vào các mô hình được cung cấp bởi các khoang. Những lợi thế của việc sử dụng phương pháp in thạch bản mềm được (1) không có thiết bị đặc biệt được yêu cầu, và (2) tính linh hoạt trong phạm vi của vật liệu