thuyên đo so với lô đầu ra cảm biến được hiển thị trong
hình. 7 (c), độ nhạy của x có nghĩa và cảm biến y được
ước tính từ các sườn dốc của đường cong tuyến tính phù hợp nhất được trang bị cho
các dữ liệu. Các nghĩa nhạy cảm của x và cảm biến y là
khoảng 2,29 mm / V và 3,42 mm / V tương ứng.
Mật độ phổ công suất (PSD) của các cảm biến đầu
được đo bởi một phân tích tín hiệu HP35670A để
xác định độ phân giải cảm biến. Tiếng ồn sàn cho x-trục
cảm biến (trường hợp xấu nhất) là -90 dBVrms / √H z. Trong vòng hở
hệ thống truyền động-cảm biến này thường dịch là 1 nm
phân giải chuyển trên một băng thông tần số 100 Hz
đang được dịch, vui lòng đợi..
