Đồ 2.32 mặt cắt ảnh hiển vi điện tử không đối xứng của màng: (1) SEM Analysis & trên lớp màng silicon alumina, (II) không đối xứng của α -Al2O3 ủng hộ và (B) của hình ảnh hiển thị hai phần phim TEM silica gel (III) và trên một tầng lớp con (IV) (từ [121]).4.4.Hơi nước nóng và ổn định màng oxit silicSilica là mối quan tâm chính của phim là, họ là không ổn định, trong điều kiện nước nóng.Trên thực tế, hầu hết bị mất mát của silica porosa màng thấm (ở đầu tiên trong 12 giờ có thể đạt đến - 50 hoặc lớn hơn) tiếp xúc với nước [83].Tính thấm này tổn thất thường là có chọn lọc của màng khớp nối là silicon trong hơi nước [118] tồn tại lâu dài rất bất lợi dụng sự mất mát.Hành động này đã được cho là do loại bỏ "của nhóm, dẫn đến hình thành Si của Silicon phím đóng lỗ hổng kênh [9].Hiện tượng này, được gọi là dày đặc hóa ở nhiệt độ cao, độ ẩm thấp là xúc tác.Chặt chẽ hóa không chỉ gây ra thấm thấp hơn, nhưng cũng có thể gây ra sự ngắn gọn của màng silica, thỏa hiệp có chọn lọc.
đang được dịch, vui lòng đợi..
