The electrostatic force is a commonly used actuation method for scanning micromirrors, which is usually generated from a fixed electrode on the substrate and a movable one associated with the scanning mirror.
Lực tĩnh điện là một phương pháp thường được sử dụng càng cho quét micromirrors, mà thường được tạo ra từ một điện cực cố định trên bề mặt và một trong những di động liên kết với gương quét.
Lực tĩnh điện là một phương pháp thường được sử dụng cho dẫn động micromirrors quét, mà thường được tạo ra từ một điện cực cố định trên bề mặt và một chuyển động liên quan đến gương quét.