Fig. 7. Sensitivity measurement for x and y sensors. a) Stage displacement vs. input actuation voltage. b) Sensor output voltage vs. input actuation voltage. c) Sensor characteristic curve.
Hình 7. Đo lường sự nhạy cảm đối với x và y cảm biến. a) giai đoạn thuyên so với điện áp đầu vào đáp. b) cảm biến đầu ra điện áp so với điện áp đầu vào đáp. c) đường cong đặc trưng cảm biến.
Sung. 7. nhạy đo cho x và y cảm biến. a) Giai đoạn chuyển so với điện áp đầu vào đẩy đủ. b) điện áp đầu ra cảm biến so với điện áp đầu vào đẩy đủ. c) Cảm biến đường cong đặc trưng.