The samples were fabricated on a si

The samples were fabricated on a silicon wafer with thermally grown
2 mm silica and 100 nm low-pressure chemical vapour deposited high-stress
stoichometric Si
3N4 thin films on top. The beam was created using electron-beam
lithography followed by a timed C4F8–SF6 reactive ion etch. In a second lithography
step, the polymer mask for the microdisk resonator was defined in such a way that
the disk partially overlapped the beam. The microdisk resonator was created using a
wet etch in a buffered hydrofluoric bath. Owing to the isotropic nature of this etch,
material below the polymer mask was partially etched, resulting in an angled
sidewall of the microdisk. Using this effect and ensuring the correct alignment of the
disk mask with respect to the beam, the release of the beam was achieved with the
structure being positioned above the wedge of the microdisk resonator. Release of the
combined system was accomplished by anisotropic silicon etching in a potassium
hydroxide bath.

Kết quả (Việt) 2:

Các mẫu được chế tạo trên một wafer silicon với nhiệt trồng
2 mm silica và 100 nm hơi hóa chất áp suất thấp lắng căng thẳng cao
stoichometric Si
3N4 phim mỏng trên đầu. Các tia được tạo ra bằng cách sử dụng chùm tia điện tử
in thạch bản theo sau là một C4F8-SF6 ion hoạt etch timed. Trong một khắc thứ hai
bước, mặt nạ polymer cho cộng hưởng microdisk được định nghĩa theo một cách mà
các đĩa phần chồng chéo các chùm tia. Các cộng hưởng microdisk đã được tạo ra bằng cách sử dụng một
etch ướt trong bồn tắm hydrofluoric đệm. Do tính chất đẳng hướng của etch này,
vật liệu dưới mặt nạ polymer được khắc một phần, kết quả trong một góc
tường bên của microdisk. Sử dụng hiệu ứng này và đảm bảo sự liên kết chính xác của
mặt nạ đĩa đối với chùm tia với, việc phát hành của chùm tia đã đạt được với các
cấu trúc được đặt trên nêm của cộng hưởng microdisk. Phát hành của
hệ thống kết hợp được thực hiện bằng cách khắc silic đẳng hướng trong một kali
tắm hydroxit.