Thus sputter yield, S, can be measured by the following (i) weight loss of target, (ii) decrease of target thickness, (iii) collection of the sputtered materials and (iv) detection of sputtered particles in flight.
Do đó năng suất sputter, S, có thể được đo bằng cách sau (i) giảm cân của mục tiêu, (ii). giảm độ dày tiêu, (iii) thu thập các tài liệu sputtered và (iv) phát hiện sputtered hạt trong chuyến bay.
Do đó bắn mực lên năng suất, S, có thể được đo bằng cách sau đây: (i) giảm cân của mục tiêu, (ii) giảm độ dày tiêu, (iii) thu thập các vật liệu phún xạ và (iv) phát hiện các hạt phún xạ trong chuyến bay.