The actuation voltage, represented

The actuation voltage, represented by Va, drives the electrostatic actuator. Vh is the
dc heating voltage, RMEMS1,2 are the sensor heated resistors and Rr1,2, RF1,2 are the bridge reference and the TA feedback resistors, respectively. The sensor resistance variations can be
described as

Kết quả (Việt) 1:

Điện áp đáp, đại diện bởi Va, ổ đĩa thiết bị truyền động tĩnh điện. VH là nhữngDC điện áp, RMEMS1, Hệ thống sưởi 2 là điện trở cảm biến nước nóng và Rr1, 2, RF1, 2 là tài liệu tham khảo bridge và TA phản hồi trở tương ứng. Các biến thể kháng cảm biến có thểmiêu tả

Kết quả (Việt) 2:

Các điện áp dẫn động, đại diện bởi Va, ổ đĩa các thiết bị truyền động điện. Vh là
dc điện áp sưởi ấm, RMEMS1,2 là cảm biến điện trở đốt nóng và Rr1,2, RF1,2 là những tài liệu tham khảo cầu và các thông tin phản hồi điện trở TA, tương ứng. Các biến thể kháng cảm biến có thể được
mô tả như