and 100 Hz in open-loop, closed-loop and closed-loop with inversion. Fig. 12 plots the 3-dimensional topography images, the fast x axis displacements and tracking errors of the nanopositioner.
và 100 Hz trong vòng hở, vòng kín và vòng kín với đảo ngược. Sung. 12 lô những hình ảnh 3 chiều về địa hình, nhanh chóng chuyển vị x trục và các lỗi theo dõi của nanopositioner.