and 100 Hz in open-loop, closed-loo

and 100 Hz in open-loop, closed-loop and closed-loop with inversion. Fig. 12 plots the 3-dimensional topography images, the fast x axis displacements and tracking errors of the nanopositioner.

Kết quả (Việt) 1:

và 100 Hz hở, kín và đập kín với đảo ngược. Hình 12 lô hình ảnh địa hình 3-chiều, fast x trục displacements và theo dõi lỗi của nanopositioner.

Kết quả (Việt) 2:

và 100 Hz trong vòng hở, vòng kín và vòng kín với đảo ngược. Sung. 12 lô những hình ảnh 3 chiều về địa hình, nhanh chóng chuyển vị x trục và các lỗi theo dõi của nanopositioner.