It involves introducing a gas into a vacuum chamber and exposing it to an electromagnetic field. During cleaning the plasma react with the surface, resulting in the contaminant being ‘lifted off’.
Nó bao gồm việc giới thiệu một chất khí vào một buồng chân không và phơi bày nó với một trường điện từ. Trong quá trình làm sạch plasma phản ứng với bề mặt, kết quả là chất gây ô nhiễm được 'nâng '.
Nó liên quan đến việc giới thiệu một khí vào một buồng chân không và phơi bày nó vào một trường điện từ. Trong quá trình làm sạch huyết tương phản ứng với bề mặt, kết quả là chất gây ô nhiễm được "cất cánh".