Hình 4. (A) thiết kế quang học cho các thế hệ hài hòa 5lh bởi khớp nối (ông 4 hòa (266 nm) và cơ bản hòa H 064 nm) của YACr Laser «n *» tinh quang ga BaBOj, và quang phổ của laser (b) trước khi khớp nối và (c) sau khi ghép nối (I-loại bởi BaBOj). Cuối cùng chỉ hài hòa thứ 5 được tạo ra bằng cách loại bỏ các giai điệu âm còn lại die (4, 2 người và cơ bản) sử dụng một lăng kính và terminator. đoạn khác bảng Anh = 30 mJ / xung, F = 1.0 J / cm2 / xung, fp = 2 Hz, và P0 = 20 chuẩn bị Pa. Phim cũng đã được nghiên cứu bằng cách sử dụng hài hòa 5. Bộ phim tương ứng có độ phẳng bề mặt tốt hơn so với chuẩn bị bằng cách sử dụng điều hòa 4, như thể hiện trong hình. 5a. Tinh thể cao hơn của bộ phim đã được khẳng định bởi XRD cho thấy dòng nhiễu xạ mạnh hơn và sắc nét hơn. Nhiệt độ chuyển đổi sang siêu dẫn cũng đã được cải thiện. Nó tăng từ Tt = 78-84 K bằng cách thay đổi các laser từ 4 đến 5 hài hòa. Trong trường hợp này, nó đã được tìm thấy rằng sự ảnh hưởng tối ưu là nhẹ hơn (7 = 0,8 J / cm2 / xung) với cùng một giá trị của các thông số khác như cho hòa thứ 4, chỉ ra rằng một fluence vừa nhẹ là cần thiết cho laser có một năng lượng photon cao. Những kết quả này chỉ ra rằng một laser có bước sóng ngắn là điều cần thiết để phân hủy các vật liệu xây dựng mục tiêu và phim tinh chất lượng cao. 2.2. Nóng cao temperatore và chế tạo của SiC thù hình tinh thể SiC được kỳ vọng sẽ là thế hệ tiếp theo khoảng cách rộng bán dẫn. Chế tạo epitaxy phim SiC là rất khó khăn, tuy nhiên, vì nó có nhiều thù hình tinh thể như 30, 2H, 4H- và 6H-SiC, có vers nhiệt độ tăng trưởng cao - khoảng Tg ~ 1500-2700 CC [15-17]. p-Type doping m «tetco¬processing thường tiến hành bằng ion-implariatioTL Đó cũng là khó khăn, vì một quá trình tôi luyện thêm được Deeded kích kẻ thù của các tạp chất ở cao temperanire trên ~ 1600 CC (nhiệt độ chuyển frose 3C-SiC lục giác SiC ) [15.1 "'Không chế tạo của anh? EIF> -efHfcusafl phim của loại nhiệt độ cao SiC (hexagrrsal SIC? i ông REE ~ báo cáo từ các nhóm khác [1S-I2], A higia ifr- ■ • là cần thiết để chế tạo SiC fHnsgs, thậm chí thứ khác: . Hình 4. (a) thiết kế quang học cho các thế hệ hài hòa thứ 5 bởi sự kết hợp hài hòa thứ 4 (266 nm) và cơ bản hòa (1064 nm) của laser YAG sử dụng một Babo) Optica] tinh thể, và quang phổ của laser (b) trước khi khớp nối và (c) sau khi ghép nối (I-type của Babo,). Cuối cùng chỉ hài hòa thứ 5 được tạo ra bằng cách loại bỏ các residua] giai điệu (4, 2 người và cơ bản) sử dụng một lăng kính và terminator . khác: . Hình 2. phổ quang học của laser Roman-chuyển được tạo ra bởi áp suất cao Hj gas Nó bao gồm dây chống Stokes iv (+ n) và dòng Stokes y (- / i) với tần số u (. n ±) = v0 ± NUH; đây v0 = c / là tần số laser tới, i
và ổn định để chiếu xạ laser. Các laser RSL impinges trên mục tiêu bên trong căn phòng cùng với các thể đảo ngược (còn lại) phần. laser tới, sau khi chuẩn trực thông qua một thấu kính trong suốt VUV- làm MgF2 hoặc CaF2. Mật độ năng lượng lắng đọng trên các mục tiêu (fluence) được điều khiển bằng cách sử dụng một cơ chế tập trung mà có thể thay đổi toàn bộ bộ máy Raman (ống H2 và lense-1). Đối với các ứng dụng PLAD đó là mong muốn tạo ra anti-Stokes dòng mạnh với bước sóng ngắn bao gồm VUV. Hiệu suất chuyển đổi để các thành phần RSL phụ thuộc vào năng lượng laser tới (E¡ "), chiều dài đường quang và áp lực của khí H2. Hiệu quả của việc chuyển đổi từ 4 hòa YAG đến thứ tư (n = 4) và thứ năm (n = 5) chống Stokes các thành phần đã được nghiên cứu, nơi v4 = v0 + 4 Vh = c! A.4 = c / (184 nm), v5 = c / Xs = c / (171 nm), như thể hiện trong hình. 2. Đây là báo cáo rằng chuyển đổi tối ưu để i> 4 và i> 5 xảy ra ở áp suất H2 từ 4-6 kg / cm2 cho một Raman ống với chiều dài đường quang 800 mm [9]. Chúng tôi kiểm tra lại và thấy rằng hiệu suất chuyển đổi là rất nhạy cảm với năng lượng laser đầu vào Ein và rằng áp lực tối ưu H2 là ~ 4,5 kg / cm2 cho E n - 50 mJ / xung. Ở đây, cần lưu ý rằng các vạch phổ do 2A.o (4, 3, ..., -2) trong hình. 2 là bản sao của A.0 mà nhất thiết phản ánh sự giận dữ ở vị trí 2A.0 khi lưới là u * ed và cường độ thấp của dòng ở ngắn hạn
khác: Hình. 2. phổ quang học của laser Roman-chuyển được tạo ra bởi áp suất cao Hj khí. Nó bao gồm các anti-Stokes dòng iv (+ n) và dòng Stokes y (- / i) với tần số u (± n) = v0 ± NUH; đây v0 = c / là tần số laser tới, i
4 và i> 5 xảy ra ở áp suất H2 từ 4-6 kg / cm2 cho một Raman ống với chiều dài đường quang 800 mm [9]. Chúng tôi kiểm tra lại và thấy rằng hiệu suất chuyển đổi là rất nhạy cảm với năng lượng laser đầu vào Ein và rằng áp lực tối ưu H2 là ~ 4,5 kg / cm2 cho E n - 50 mJ / xung. Ở đây, cần lưu ý rằng các vạch phổ do 2A.o (4, 3, ..., -2) trong hình. 2 là bản sao của A.0 mà nhất thiết phản ánh sự giận dữ ở vị trí 2A.0 khi lưới là u * ed và cường độ thấp của dòng ở ngắn hạn
khác ::
vùng có bước sóng dưới 220 nm là một phần do độ nhạy thấp phổ kế có mặt tại khu vực. Chế tạo các bộ phim siêu dẫn YBajCujOy đã được kiểm tra bằng cách sử dụng RSL hiện. Sau một số thử nghiệm, chúng tôi có thể chuẩn bị reproducibly phim YBCO epitaxy chất lượng cao có một số lượng nhỏ hơn nhiều của các hạt tạp chất (giọt) hơn những bộ phim chuẩn bị bằng cách sử dụng 4 laser YAG hòa thông thường, như thể hiện trong hình. 3. Các điều kiện chuẩn bị như sau: Ztiniet = 50 mJ / xung, / p = 2 Hz và nhiệt độ nóng fj | = 800 ° C. Chất lượng có thể được tốt hơn so với các bộ phim chuẩn bị sử dụng tia laser excimer laser YAG hay [10-13]. Các tempera¬ture chuyển pha siêu dẫn của các bộ phim hiện nay phù hợp với các giá trị đã báo cáo (Tc = 90,0 ± 0,5 K) [12]. Lý do cho việc giảm giọt được đề nghị như sau: laser Raman dịch chuyển bao gồm vô số các tần số mới, có bước sóng ngắn mà hiệu quả có thể phân hủy các chất liệu mục tiêu với các hạt có kích thước nhỏ nguyên tử thông qua hình ảnh phân ly. The-đa bước sóng cũng có thể giúp phân ly của các mục tiêu hợp YBa2Cu3Ov có thế mạnh trái phiếu lớn và khác nhau; D298 (Y-0) = 167 nm, D298 (Cu-0) = 348 nm, và D298 (Ba-0) = 180 nm trong đơn vị bước sóng. Phân hủy để kích thước nguyên tử là điều cần thiết để ức chế sự hình thành giọt.
Fig. 4a cho thấy việc thiết kế quang học cho thế hệ hài hòa 5. Hài hòa được tạo ra bằng cách sử dụng một tinh thể quang BaB03 bằng cách kết hợp cơ bản (1064 nm) và hòa 4 (266 nm) từ một laser nano¬second thương mại có sẵn (Spectron LS-803). Sự kết hợp được thực hiện bởi I- loại khớp nối, vì vậy sự phân cực của hai giai điệu được liên kết song song bằng cách điều chỉnh các định hướng của bản phân cực trước khi ghép. Các sóng hài bậc hai được gỡ bỏ bằng cách sử dụng một miller, vì nó làm nhiễu loạn các khớp nối. Sau khi ghép nối, kết quả hòa thứ 5 khi loại bỏ những giai điệu còn lại (4, 2 và nguyên tắc cơ bản) sử dụng một lăng kính và các đầu cuối, như thể hiện trong hình. 4a-Cij Các vạch phổ của A, (2) = 522 nm (b), và 2 x 3 x AJU và A (5) (c) chỉ là những bản sao gây ra bởi sự phản ánh của 4 hòa X (4) và 5 A. hòa (5), tương ứng, theo một cách tử của máy quang phổ.
By PLAD, NdBajCusOy chất siêu dẫn có xu hướng làm tăng epitaxy phim có một bề mặt thô gồm hạt lớn [14], như thể hiện trong hình. 5b. Con số này cho thấy một hình ảnh quang học quan sát bằng kính hiển vi cho một bộ phim chuẩn bị trên một STO (l 1 1) chất nền bằng cách sử dụng các PLAD 4 hòa YAG dưới tối ưu hóa các điều kiện ở nhiệt độ nóng của Tj, tôi 800 ° C:
đang được dịch, vui lòng đợi..
