Cả hai quang có tích cực và tiêu cực có sẵn. Với tiêu cực cản quang các khu vực chưa phơi sáng được loại bỏ trong quá trình phát triển, và với tích cực chống lại các khu vực tiếp xúc được loại bỏ. Ít trở kháng tiêu cực vòng cung nổi danh là khá bị ảnh hưởng bởi etchants được sử dụng trong chế biến, nhưng độ phân giải tốt hơn thường có thể thu được với Ít trở kháng tích cực. Quang có phục vụ như là lớp bảo vệ cho nhiều etchants và chất oxy hóa, và là một rào cản đối với ion cấy ghép
đang được dịch, vui lòng đợi..