Wet oxidation is preferred to dry o

Wet oxidation is preferred to dry oxidation for growing thick oxides, because of the higher growth rate. However, fast oxidation leaves more dangling bonds at the silicon interface, which produce quantum states for electrons and allow current to leak along the interface. (This is called a "dirty" interface.) Wet oxidation also yields a lower-density oxide, with lower dielectric strength.

The long time required to grow a thick oxide in dry oxidation makes this process impractical. Thick oxides are usually grown with a long wet oxidation bracketed by short dry ones (a dry-wet-dry cycle). The beginning and ending dry oxidations produce films of high-quality oxide at the outer and inner surfaces of the oxide layer, respectively.

Mobile metal ions can degrade performance of MOSFETs (sodium is of particular concern). However, chlorine can immobilize sodium by forming sodium chloride. Chlorine is often introduced by adding hydrogen chloride or trichloroethylene to the oxidizing medium. Its presence also increases the rate of oxidation.

Kết quả (Việt) 2:

Oxy hóa ướt được ưa thích để khô quá trình oxy hóa cho phát triển oxit dày, vì tốc độ tăng trưởng cao hơn. Tuy nhiên, quá trình oxy hóa nhanh chóng rời khỏi trái phiếu lủng lẳng nữa tại giao diện silicon, sản xuất ra trạng thái lượng tử cho electron và cho phép hiện tại để rò rỉ cùng giao diện. (Điều này được gọi là một "bẩn" giao diện.) Oxy hóa ướt cũng mang lại một oxit mật độ thấp hơn, với sức mạnh điện môi thấp hơn. Thời gian dài cần thiết để phát triển một oxit dày trong quá trình oxy hóa khô làm cho quá trình này không thực tế. Oxit dày thường được trồng với một quá trình oxy hóa ẩm ướt lâu ngoặc với những người khô ngắn (một chu kỳ khô-ướt-khô). Sự khởi đầu và kết thúc oxy hóa khô sản xuất phim của oxit chất lượng cao ở các bề mặt bên ngoài và bên trong của lớp oxit tương ứng. Các ion kim loại di động có thể làm giảm hiệu suất của MOSFETs (natri là mối quan tâm đặc biệt). Tuy nhiên, clo có thể làm bất động natri bằng cách hình thành natri clorua. Chlorine thường được giới thiệu bằng cách thêm hydro clorua hoặc trichloroethylene vào môi trường oxy hóa. Sự hiện diện của nó cũng làm tăng tốc độ của quá trình oxy hóa.