AbstractThis study demonstrates the

Abstract
This study demonstrates the torque-enhancement design for a 2-axis magnetostatic SOI
scanner driven by a double-side electroplating ferromagnetic film. The present design has two
merits: (1) the slender ferromagnetic material patterns with higher length-to-width ratio
enhance the magnetization, (2) the backside electroplating of the ferromagnetic film increases
the volume of the ferromagnetic materials. This study also establishes the fabrication
processes to implement the proposed design. The processes also have two merits: (1) the
handle-layer of the SOI wafer is exploited as the shadow mask to pattern the seed-layer at the
backside of the device layer, (2) the device layer of the SOI wafer acts as the cathode to enable
simultaneous double-side electroplating. In applications, a 2-axis SOI scanner was
implemented and characterized. Measurements show a 149% torque enhancement from the
double-side electroplating design. The vertical slender ferromagnetic material patterns further
increase the magnetostatic torque to 211%. This study also successfully demonstrates the
Lissajous scanning using the presented 2-axis SOI scanner.
(Some figures in this article are in colour only in the electronic version)

Kết quả (Việt) 1:

Tóm tắtNghiên cứu này cho thấy thiết kế mô-men xoắn tăng cường cho một magnetostatic 2 trục SOImáy quét lái xe của đôi bên xi mạ sắt từ bộ phim. Thiết kế hiện tại có haithành tích: (1) các mẫu vật liệu sắt từ mảnh mai với tỷ lệ chiều dài, chiều rộng caotăng cường từ tính, (2) việc mạ điện mặt sau tăng sắt từ phimkhối lượng của vật liệu sắt từ. Nghiên cứu này cũng thiết lập chế tạoquy trình thực hiện thiết kế đề xuất. Các quá trình cũng có hai giá trị: (1) cácxử lý-lớp SOI wafer khai thác như mặt nạ bóng tối để mô hình lớp hạt giống tại cácmặt sau của thiết bị lớp, (2) lớp thiết bị SOI wafer hoạt động như âm cực để kích hoạtđồng thời hai bên xi mạ. Trong các ứng dụng, một máy quét SOI 2 trục làtriển khai thực hiện và đặc trưng. Hiển thị đo đạc một enhancement mô-men xoắn 149% từ cácđôi bên xi mạ thiết kế. Xem thêm các mảnh dọc mô hình vật liệu sắt từtăng mô-men xoắn magnetostatic 211%. Nghiên cứu này cũng đã chứng tỏ sựLissajous quét bằng cách sử dụng máy quét SOI 2 trục trình bày.(Một số nhân vật trong bài viết này là màu sắc chỉ có ở phiên bản điện tử)

Kết quả (Việt) 2:

Tóm tắt
Nghiên cứu này cho thấy việc thiết kế mô-tăng cường cho 2 trục SOI từ tĩnh
quét thúc đẩy bởi một đôi bên mạ điện phim sắt từ. Các thiết kế hiện có hai
công: (1) các mô hình vật liệu sắt từ mảnh mai với tỷ lệ chiều dài đến chiều rộng cao hơn
tăng cường sự từ hóa, (2) sự mạ điện mặt sau của bộ phim sắt từ làm tăng
khối lượng của vật liệu sắt từ. Nghiên cứu này cũng thiết lập các chế tạo
quy trình để thực hiện các thiết kế đề xuất. Các quá trình này cũng có hai giá trị: (1)
xử lý lớp của SOI wafer được khai thác như mặt nạ bóng cho mẫu hạt giống-lớp ở
mặt sau của lớp thiết bị, (2) các lớp thiết bị của SOI wafer hoạt động như catot để cho phép
đồng thời hai bên mạ điện. Trong các ứng dụng, một máy quét SOI 2 trục đã được
thực hiện và đặc trưng. Đo lường cho thấy một nâng cao mô-men xoắn 149% từ các
thiết kế mạ điện đôi bên. Các mảnh dọc mẫu vật liệu sắt từ hơn nữa
làm tăng momen từ tĩnh đến 211%. Nghiên cứu này cũng cho thấy thành công
quét Lissajous sử dụng giới thiệu máy quét SOI 2 trục.
(Một số nhân vật trong bài viết này là màu duy nhất trong phiên bản điện tử)