IV. DEVICE CHARACTERIZATIONA. Senso

IV. DEVICE CHARACTERIZATION
A. Sensor Sensitivity Measurement
A Polytec PMA-400 Planar Motion Analyzer was used to
measure the x and y displacements of the nanopositioner. The
measurements were based on the principle of stroboscopic
video microscopy performed by in-built image analysis software
of the PMA. Actuation voltages from 0 V to 45 V
were applied to drive the x and y comb finger actuators,
and the corresponding displacements (measured by the PMA)
and sensor output voltages were recorded simultaneously.
Results are plotted in Fig. 7. The nonlinearities shown in
these plots are due to the nonlinear relationship between the
generated force and the voltage applied to the comb actuators.
With a maximum actuation voltage of 45 V, the measured
displacement is 16 μm for both x and y axes. From the

Kết quả (Việt) 1:

IV. THIẾT BỊ ĐẶC TÍNHA. cảm biến độ nhạy đo lườngMột phân tích chuyển động Polytec PMA-400 phẳng được sử dụng đểbiện pháp x và y displacements của nanopositioner. Cácđo lường được dựa trên các nguyên tắc của stroboscopickính hiển vi video thực hiện bằng phần mềm phân tích trong xây dựng hình ảnhcủa PMA. Điện áp càng từ 0 V-45 Vđã được áp dụng để lái xe x và y lược ngón tay thiết bị thi hành,và displacements tương ứng (đo bằng PMA)và cảm biến đầu ra điện áp được ghi nhận cùng một lúc.Kết quả âm mưu trong hình 7. Nonlinearities Hiển thị trongCác lô là do phi tuyến mối quan hệ giữa cáctạo ra lực lượng và điện áp được áp dụng cho các thiết bị truyền động lược.Với một điện áp tối đa càng của 45 V, các đotrọng lượng rẽ nước là 16 μm cho trục x và y. Từ các

Kết quả (Việt) 2:

IV. THIẾT BỊ TÍNH CHẤT
A. Sensor đo độ nhạy
A Polytec PMA-400 Planar Chuyển động Analyzer được sử dụng để
đo x và chuyển vị y của nanopositioner. Các
phép đo được dựa trên nguyên tắc của hoạt nghiệm
kính hiển vi phim được thực hiện bởi trong xây dựng phần mềm phân tích hình ảnh
của PMA. Điện áp dẫn động từ 0 V đến 45 V
được áp dụng để lái xe x và y lược cơ cấu truyền động ngón tay,
và các chuyển tương ứng (đo bằng PMA)
và điện áp đầu ra cảm biến đã được ghi đồng thời.
Kết quả được vẽ trong hình. 7. Các phi tuyến được hiển thị trong
các lô là do mối quan hệ phi tuyến giữa các
lực lượng và tạo ra điện áp áp dụng cho các thiết bị truyền động lược.
Với một điện áp dẫn động tối đa 45 V, đo
dịch chuyển là 16 mm cho cả hai trục x và y. Từ