A. Inversion FeedforwardWithout fee

A. Inversion Feedforward
Without feedback control, the highest scan rate achievable
on a nanopositioner with a resonance frequency of 860 Hz
is 8.6 Hz [1]. Here, the objective is to obtain AFM images
with raster scan rates up to 100 Hz. The obtained closedloop
tracking bandwidth of 165 Hz is insufficient to track
a fast 100-Hz triangular waveform. Therefore, the inversionbased
feedforward technique was used to further increase the
tracking bandwidth. A model-based feedforward technique
may not be able to compensate for plant uncertainties [35].
However, plant uncertainties can be minimized by means of
feedback control [17], [36], [37], i.e. by implementing the
two feedback control loops as presented in Sec. V. A model
Gcl(s) was fitted to the closed-loop frequency response data
of the x axis for inversion, see Fig. 10(a). In order to obtain
an accurate inversed model G−1
cl (s), the frequency range of
the model was restricted to 1.5 kHz to reduce modeling errors
due to uncertainties in the measured closed-loop data. The
inversion feedforward inputs rˆx were obtained by using all
odd harmonics of the triangular waveform that lie within the
bandwidth of 1.5 kHz, where the amplitude of the harmonics
was scaled by | G−1
cl (iω) |, and the phase of the harmonics
was shifted by  G−1
cl (iω). Note that rˆx were obtained offline
as shown in Fig. 10(a). By implementing the inversion feedforward
technique, the tracking bandwidth of the system was
increased from 165 Hz to 1.5 kHz.

Kết quả (Việt) 1:

A. đảo ngược FeedforwardKhông kiểm soát thông tin phản hồi, tốc độ quét cao nhất đạt đượctrên một nanopositioner với một tần số cộng hưởng của 860 Hzlà 8,6 Hz [1]. Ở đây, mục tiêu là để có được hình ảnh AFMvới raster quét tỷ giá lên đến 100 Hz. Closedloop thu đượctheo dõi băng thông của 165 Hz là không đủ để theo dõimột dạng sóng hình tam giác nhanh 100 Hz. Do đó, inversionbasedfeedforward kỹ thuật được sử dụng để tăng thêm cáctheo dõi băng thông. Một kỹ thuật dựa trên mô hình feedforwardcó thể không có thể bù đắp cho thực vật không chắc chắn [35].Tuy nhiên, không chắc chắn thực vật có thể được giảm thiểu bằng means củathông tin phản hồi kiểm soát [17], [36], [37], tức là bằng cách thực hiện cáchai phản hồi điều khiển vòng như trình bày ở Sec. V. Một mô hìnhGCL(s) được trang bị để kín tần số phản ứng dữ liệucủa các trục x cho đảo ngược, xem hình 10(a). Để có đượcmột mô hình chính xác inversed G−1CL (s), dải tần số củaCác mô hình được hạn chế đến 1,5 kHz để giảm mô hình lỗido sự không chắc chắn trong dữ liệu đo kín. Cácđảo ngược feedforward đầu vào rˆx đã thu được bằng cách sử dụng tất cảCác sóng hài lẻ của dạng sóng hình tam giác nằm trong cácbăng thông của 1.5 kHz, nơi biên độ các sóng hàiđã thu nhỏ bởi | G−1CL (iω) |, và giai đoạn của các sóng hàiđã được chuyển bởi G−1CL (iω). Lưu ý rằng rˆx được lấy gián tuyếnnhư minh hoạ trong hình 10(a). Bằng cách thực hiện feedforward đảo ngượckỹ thuật, băng thông theo dõi của hệ thốngtăng từ 165 Hz đến 1,5 kHz.

Kết quả (Việt) 2:

A. Inversion feedforward
Nếu không kiểm soát thông tin phản hồi, tốc độ quét cao nhất có thể đạt được
trên một nanopositioner với một tần số cộng hưởng của 860 Hz
là 8,6 Hz [1]. Ở đây, mục tiêu là để có được hình ảnh AFM
với giá raster quét lên đến 100 Hz. Các closedloop thu được
băng thông theo dõi của 165 Hz là không đủ để theo dõi
một 100-Hz dạng sóng tam giác nhanh. Vì vậy, các inversionbased
kỹ thuật feedforward đã được sử dụng để tăng thêm
băng thông theo dõi. Một kỹ thuật feedforward dựa trên mô hình
có thể không thể bù đắp cho sự không chắc chắn thực vật [35].
Tuy nhiên, sự không chắc chắn nhà máy có thể được giảm thiểu bằng cách
điều khiển phản hồi [17], [36], [37], tức là bằng cách thực hiện các
điều khiển hai phản hồi vòng như đã trình bày ở Sec. V. Một mô hình
GCL (s) đã được trang bị cho các dữ liệu đáp ứng tần số vòng kín
của trục x để đảo ngược, xem hình. 10 (một). Để có được
một mô hình chính xác nghịch đảo G-1
cl (s), dải tần số của
các mô hình đã được hạn chế đến 1,5 kHz để giảm thiểu sai sót mô hình
do không chắc trong các dữ liệu đo vòng kín. Các
yếu tố đầu vào đảo ngược feedforward rx đã thu được bằng cách sử dụng tất cả
các giai điệu âm lẻ của các dạng sóng tam giác nằm trong các
băng thông 1,5 kHz, nơi biên độ của những giai điệu
đã được thu nhỏ lại bởi | G-1
cl (iω) |, và các giai đoạn của những giai điệu
được chuyển bằng? G-1
cl (iω). Lưu ý rằng rx đã thu được ẩn
như thể hiện trong hình. 10 (một). Bằng cách thực hiện các feedforward đảo ngược
kỹ thuật, theo dõi băng thông của hệ thống đã
tăng từ 165 Hz đến 1,5 kHz.