Burton và Bhushan5
phát triển một mới
phương pháp để xác định đầy đủ các cấu bump. Để com-pensate cho khoảng cách PV lớn, hai công việc quét được thực hiện cho mỗi
chiều cao: một phép đo mà quét các đỉnh của các va chạm mạnh và
một đo lường mà quét các cơ sở của các va chạm.
đang được dịch, vui lòng đợi..
